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洁净室气流的原理
洁净室通过使用采用层流或湍流原理的 HEPA 或 ULPA 过滤器来保持无颗粒的空气。 层流或单向气流系统将过滤后的空气以恒定流速向下引导。洁净室净化 层流系统通常用于 100% 的天花板，以保持恒定的单向流动。 层流标准通常在便携式工作站（LF 罩）中指定，并且在 ISO-1 到 ISO-4 分类的洁净室中是强制性的。
适当的洁净室设计包括整个空气分配系统，净化洁净室包括足够的下游空气回收。车间洁净室 在垂直流动室中，这意味着在该区域的周边使用低壁回风。 在水平流应用中，它需要在工艺的下游边界使用空气回流。 使用天花板安装的回风与正确的洁净室系统设计相矛盾。
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